故障解析
ソシオネクストは、お客様で発生した不具合品を徹底して解析し、原因究明・対策実施・不具合の再発防止を行っています。また、開発時の評価および委託先での工程異常が発生した場合の不具合品についても故障解析を実施し、改善を図っています。
故障解析装置
| 使用目的 | 設備名称 |
|---|---|
| 不具合箇所特定 | ELITE（Enhanced Lock-In Thermal Emission） |
| EMS（Emission Microscope） | |
| OBIRCH（Optical Beam Induced Resistance Change） | |
| OBIC（Optical Beam Induced Current） | |
| TDR（Time Domain Reflectometry） | |
| EBAC（Electron Beam Absorbed Current） | |
| マニュアルプローバ | |
| 研磨／エッチング | プラズマドライエッチャー |
| 研磨装置 | |
| ドラフト（酸, HF, 有機） | |
| 精密研磨システム（CMP装置） | |
| 観察 | SEM（Scanning Electron Microscope）+元素分析装置（EDX） |
| FIB（Focused Ion Beam machine） | |
| X線-CT観察装置 | |
| SAT（Scanning Acoustic Tomography） | |
| 光学顕微鏡（実体, 金顕, IR） | |
| その他 | LSIテスター＋サーモストリーム |
| 半導体パラメータアナライザ | |
| レーザー開封装置 | |
| プラスチックモールドオープナー |
●故障解析装置例
